一、范围
本标准适用于多晶硅副产品四氯化硅的生产、质量检验、标志、包装、运输等。
二、分类和要求
1. 分类
根据四氯化硅的含量,将多晶硅副产品分为四氯化硅含量≥98%和四氯化硅含量<98%两类。
2. 质量要求
四氯化硅含量≥98%的多晶硅副产品应符合以下要求:
(1)四氯化硅含量不得低于98%;
(2)游离氯离子含量不得超过0.05%;
(3)游离氟离子含量不得超过0.05%;
(4)游离氢离子含量不得超过0.05%;
(5)游离氧离子含量不得超过0.05%;
(6)游离硫离子含量不得超过0.05%;
(7)游离氮离子含量不得超过0.05%;
(8)游离碳离子含量不得超过0.05%。
四氯化硅含量<98%的多晶硅副产品应符合以下要求:
(1)四氯化硅含量不得低于95%;
(2)游离氯离子含量不得超过0.1%;
(3)游离氟离子含量不得超过0.1%;
(4)游离氢离子含量不得超过0.1%;
(5)游离氧离子含量不得超过0.1%;
(6)游离硫离子含量不得超过0.1%;
(7)游离氮离子含量不得超过0.1%;
(8)游离碳离子含量不得超过0.1%。
三、试验方法
1. 四氯化硅含量的测定
采用电位滴定法或气相色谱法测定。
2. 游离离子含量的测定
采用离子色谱法测定。
四、标志、包装、运输
1. 标志
每件多晶硅副产品四氯化硅应标明品名、规格、批号、生产日期、生产厂家等信息。
2. 包装
多晶硅副产品四氯化硅应采用无毒、无污染、无渗漏的包装材料进行包装。
3. 运输
多晶硅副产品四氯化硅应采用无毒、无污染、无渗漏的运输工具进行运输。
相关标准
GB/T 191-2008 包装通用术语
GB/T 6678-2003 包装用塑料薄膜
GB/T 6682-2008 分析化学实验室水质规范和检验方法
GB/T 8170-2008 数值舍入规则和限制条件
GB/T 17519-2013 包装运输图形符号