铬靶材是一种用于物理蒸发、磁控溅射等工艺的材料，广泛应用于半导体、光电子、显示器件等领域。YS/T 1220-2018 铬靶材是我国针对铬靶材制定的标准，下面将对该标准进行详细介绍。

1. 分类
铬靶材按照制备方法分为热压型和热等静压型两种。

2. 化学成分
铬靶材的化学成分应符合表1的要求。

表1 化学成分要求

| 序号 | 化学成分 | 质量分数/% |
| ---- | -------- | ---------- |
| 1 | Cr | ≥99.95 |
| 2 | C | ≤0.01 |
| 3 | O | ≤0.05 |
| 4 | N | ≤0.01 |
| 5 | H | ≤0.001 |

3. 物理性能
铬靶材的物理性能应符合表2的要求。

表2 物理性能要求

| 序号 | 物理性能 | 要求 |
| ---- | -------- | ---- |
| 1 | 密度 | ≥7.14g/cm³ |
| 2 | 抗拉强度 | ≥350MPa |
| 3 | 抗弯强度 | ≥450MPa |
| 4 | 硬度 | ≥200HV |

4. 检验方法
铬靶材的检验方法应符合表3的要求。

表3 检验方法

| 序号 | 检验项目 | 检验方法 |
| ---- | -------- | -------- |
| 1 | 化学成分 | 火花光谱分析 |
| 2 | 密度 | 金属密度计测量 |
| 3 | 抗拉强度 | 万能试验机测量 |
| 4 | 抗弯强度 | 万能试验机测量 |
| 5 | 硬度 | 维氏硬度计测量 |

5. 标志
铬靶材的标志应包括材料名称、化学成分、尺寸、制造厂家等信息。

6. 包装
铬靶材应采用防潮、防震、防锈的包装材料进行包装，包装材料应符合国家相关标准。

7. 运输
铬靶材在运输过程中应注意防潮、防震、防锈，避免碰撞、挤压等损坏。

相关标准
GB/T 18033-2017 金属材料化学分析方法 火花光谱法
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