钼钛合金靶材是一种用于物理气相沉积（PVD）和磁控溅射（MPS）等薄膜制备技术的重要材料。YS/T 1235-2018标准规定了钼钛合金靶材的化学成分、外观、尺寸、表面质量、机械性能、化学性能、电学性能等要求。

该标准要求钼钛合金靶材的化学成分应符合以下要求：钼的含量为60%~80%，钛的含量为20%~40%。同时，钼钛合金靶材的外观应平整、光滑，无裂纹、气泡、夹杂物等缺陷。尺寸方面，钼钛合金靶材的直径应为2英寸、3英寸或4英寸，厚度应为0.125英寸或0.250英寸。

在机械性能方面，YS/T 1235-2018标准规定了钼钛合金靶材的硬度、抗拉强度、屈服强度、延伸率等指标。化学性能方面，该标准要求钼钛合金靶材的化学稳定性好，不应在常见的化学试剂中发生腐蚀反应。电学性能方面，钼钛合金靶材的电阻率应在10-4Ω·cm以下。

此外，YS/T 1235-2018标准还规定了钼钛合金靶材的试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容。例如，钼钛合金靶材的检验应按照GB/T 2828.1-2012的抽样方案进行，标志应包括钼钛合金靶材的名称、规格、批号、生产厂家等信息。

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