高纯二氧化锗是一种重要的半导体材料，其纯度对器件性能有着重要的影响。因此，对高纯二氧化锗中杂质元素的含量进行准确的分析是非常必要的。本标准采用电感耦合等离子体质谱法，可以同时测定高纯二氧化锗中镁、铝、钴、镍、铜、锌、铟、铅、钙、铁和砷等元素的含量。

本标准适用于高纯二氧化锗中镁、铝、钴、镍、铜、锌、铟、铅、钙、铁和砷元素的测定。样品的制备方法可以参考YS/T 37.1-2018《高纯二氧化锗化学分析方法 通用规定》中的相关要求。

本标准中所使用的电感耦合等离子体质谱仪应满足以下要求：

1. 具有高灵敏度和高分辨率的质谱分析能力；
2. 具有稳定的离子源和离子透镜；
3. 具有高精度的质量分析能力；
4. 具有自动化控制和数据处理功能。

本标准中所使用的试剂应符合以下要求：

1. 高纯度的化学试剂；
2. 溶液的制备应使用去离子水或超纯水；
3. 溶液的保存应避免污染和氧化。

本标准中所使用的标准物质应符合以下要求：

1. 纯度高，稳定性好；
2. 与待测元素的化学性质相似；
3. 与待测元素的浓度相近。

本标准中所使用的测定方法应符合以下要求：

1. 仪器的校准应在每次测量前进行；
2. 样品的制备和测量应在洁净的实验室环境中进行；
3. 测量结果应进行统计分析和误差评估。

相关标准
YS/T 37.1-2018 高纯二氧化锗化学分析方法 通用规定
GB/T 6682-2008 分析化学实验室水质规范
GB/T 8170-2008 数值舍入规则及其应用
GB/T 6902-2006 分析化学实验室通用玻璃仪器规范
GB/T 8171-2008 数值表示方法和圆整规则