YS/T 1290-2018
多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法
发布时间:2018-10-22 实施时间:2019-04-01
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多晶硅生产是一种重要的半导体材料生产工艺,其生产过程中会产生大量的尾气。尾气中含有硅烷等有害气体,对环境和人体健康都有一定的危害。因此,对多晶硅生产尾气中硅烷含量进行准确测定,对于环境保护和人体健康具有重要意义。
本标准采用气相色谱法测定多晶硅生产尾气中硅烷含量。具体操作步骤如下:
1. 仪器准备:使用气相色谱仪,选择合适的柱和检测器,并进行预热和校准。
2. 样品采集:使用气体采样器采集多晶硅生产尾气样品,并将样品转移到气相色谱仪中。
3. 气相色谱分析:将样品注入气相色谱仪中,进行分离和检测。根据硅烷的特征峰进行定量分析。
4. 结果计算:根据样品中硅烷的峰面积和标准曲线,计算出硅烷的含量。
本标准的实施可以有效地测定多晶硅生产尾气中硅烷含量,为环境保护和人体健康提供科学依据。
相关标准:
GB/T 16157-2012 环境空气质量标准
GB/T 16158-2012 环境空气质量自动监测方法
GB/T 16159-2012 环境空气质量手工监测方法
GB/T 16160-2012 环境空气质量评价方法
GB/T 16161-2012 环境空气质量数据表示方法