YS/T 1358-2020
磁记录用铁钴钽合金溅射靶材
发布时间:2020-12-09 实施时间:2021-04-01
磁记录用铁钴钽合金溅射靶材是一种用于制备磁记录介质的材料。本标准适用于生产和检验磁记录用铁钴钽合金溅射靶材的企业和科研单位。
本标准规定了铁钴钽合金溅射靶材的分类,包括FeCoTaZr、FeCoTa、FeCoZr、FeCoNbZr等四种类型。其中,FeCoTaZr为优质材料,适用于高密度磁记录介质的制备。
本标准还规定了铁钴钽合金溅射靶材的物理性能和化学成分要求。物理性能包括靶材的密度、电阻率、热导率、热膨胀系数等指标;化学成分包括铁、钴、钽、锆等元素的含量要求。这些指标的要求旨在保证铁钴钽合金溅射靶材的制备质量和使用性能。
本标准还规定了铁钴钽合金溅射靶材的制备方法,包括原料的选择、预处理、合金化、热压成型、热处理等工艺流程。制备过程中应注意控制合金化温度、热压成型温度和时间、热处理温度和时间等参数,以保证靶材的物理性能和化学成分符合要求。
本标准还规定了铁钴钽合金溅射靶材的检验规则,包括外观检查、化学成分分析、物理性能测试等项目。检验结果应符合本标准的要求。
本标准还规定了铁钴钽合金溅射靶材的标志、包装、运输和贮存等要求。靶材应标明材料名称、型号、批号、生产日期等信息,并采用适当的包装方式进行运输和贮存,以防止靶材受到损坏或污染。
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