离子注入机是一种用于制造半导体器件的设备，其核心部件是离子注入器。离子注入器需要使用高温、高真空、高能量的离子束，因此需要使用高温、高强度、高耐腐蚀性的材料。钨材是一种具有这些特性的材料，因此被广泛应用于离子注入机中。

YS/T 1371-2020 标准规定了离子注入机用钨材的分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。具体内容如下：

1. 分类
离子注入机用钨材分为高纯度钨材和合金钨材两类。

2. 要求
高纯度钨材应符合表1中的要求，合金钨材应符合表2中的要求。

3. 试验方法
本标准规定了高纯度钨材和合金钨材的试验方法，包括化学成分分析、杂质含量测定、晶粒度测定、拉伸性能试验、冲击性能试验、热膨胀系数测定、硬度测定等。

4. 检验规则
本标准规定了高纯度钨材和合金钨材的检验规则，包括外观检查、尺寸偏差、化学成分、杂质含量、晶粒度、拉伸性能、冲击性能、热膨胀系数、硬度等。

5. 标志
离子注入机用钨材应标明材质、规格、批号、生产厂家等信息。

6. 包装、运输和贮存
离子注入机用钨材应采用防潮、防震、防锈的包装方式进行运输和贮存。

相关标准
GB/T 4182-2003 金属材料拉伸试验方法
GB/T 229-2007 金属材料化学分析方法
GB/T 4336-2016 金属材料冲击试验方法
GB/T 8170-2008 数值航空产品外形尺寸和形状公差表示方法
GB/T 1176-1987 金属材料硬度试验方法