YS/T 426.5-2021
锑铍芯块化学分析方法  第5部分:硅含量的测定  电感耦合等离子体原子发射光谱法
发布时间:2021-12-02 实施时间:2022-04-01


锑铍芯块是一种用于制造半导体器件的材料,其中硅含量是一个重要的指标。本标准规定了锑铍芯块中硅含量的测定方法,采用电感耦合等离子体原子发射光谱法进行分析。

电感耦合等离子体原子发射光谱法是一种常用的化学分析方法,具有高精度、高灵敏度、高选择性等优点。该方法通过将样品中的元素转化为原子态,然后利用电感耦合等离子体激发原子发射光谱进行分析。该方法适用于多种材料中元素含量的测定,包括金属、非金属、有机物等。

本标准中,锑铍芯块样品经过预处理后,采用电感耦合等离子体原子发射光谱法进行分析。具体步骤如下:

1. 样品制备:将锑铍芯块样品研磨成粉末,并加入适量的氢氧化钠和氢氧化钾,使其完全溶解。

2. 样品处理:将样品溶液经过过滤和稀释处理,使其适合于电感耦合等离子体原子发射光谱法分析。

3. 仪器分析:将样品溶液注入电感耦合等离子体原子发射光谱仪中,进行分析。根据硅元素的发射光谱,可以计算出样品中硅的含量。

本标准中,还规定了样品制备、样品处理、仪器分析等方面的详细要求,以保证分析结果的准确性和可靠性。

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