YS/T 1500-2021
多晶硅制备炉衬用银板材
发布时间:2021-12-02 实施时间:2022-04-01
多晶硅是一种重要的半导体材料,广泛应用于电子、光电、太阳能等领域。在多晶硅的制备过程中,需要使用炉衬来保护反应器壁,同时也需要使用银板材来保护炉衬。YS/T 1500-2021标准规定了多晶硅制备炉衬用银板材的要求,以确保其质量和性能符合相关标准和要求。
本标准将多晶硅制备炉衬用银板材分为两类:普通银板材和高纯银板材。其中,普通银板材的银含量不低于99.9%,高纯银板材的银含量不低于99.99%。此外,本标准还规定了银板材的厚度、尺寸、表面质量、化学成分、物理性能等要求。
在试验方法方面,本标准规定了银板材的化学成分分析、表面质量检验、厚度测量、拉伸性能试验、硬度试验、弯曲试验等试验方法。同时,本标准还规定了银板材的检验规则和标志、包装、运输及贮存要求。
总之,YS/T 1500-2021标准的制定,为多晶硅制备炉衬用银板材的生产和应用提供了明确的标准和要求,有助于提高银板材的质量和性能,保障多晶硅制备过程的稳定性和可靠性。
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