1. 范围
本标准适用于铂钴铬硼合金溅射靶材的制造、检验和使用。

2. 规定
2.1 化学成分
铂钴铬硼合金溅射靶材的化学成分应符合表1的要求。

表1 化学成分

| 序号 | 化学成分 | 质量分数/% |
| ---- | -------- | ---------- |
| 1 | Pt | 30-50 |
| 2 | Co | 20-40 |
| 3 | Cr | 10-30 |
| 4 | B | 5-15 |

2.2 物理性能
铂钴铬硼合金溅射靶材的物理性能应符合表2的要求。

表2 物理性能

| 序号 | 物理性能 | 要求 |
| ---- | -------- | ---- |
| 1 | 密度 | ≥10.0 g/cm³ |
| 2 | 抗拉强度 | ≥800 MPa |
| 3 | 伸长率 | ≥10% |

2.3 检验方法
铂钴铬硼合金溅射靶材的检验方法应符合表3的要求。

表3 检验方法

| 序号 | 检验项目 | 检验方法 |
| ---- | -------- | -------- |
| 1 | 化学成分 | 电感耦合等离子体发射光谱法 |
| 2 | 密度 | 金相法 |
| 3 | 抗拉强度 | 万能试验机 |
| 4 | 伸长率 | 万能试验机 |

2.4 标志、包装、运输和贮存要求
铂钴铬硼合金溅射靶材的标志、包装、运输和贮存要求应符合表4的要求。

表4 标志、包装、运输和贮存要求

| 序号 | 项目 | 要求 |
| ---- | -------- | ------------------------------------------------------------ |
| 1 | 标志 | 靶材应标明名称、化学成分、尺寸、批号等信息。 |
| 2 | 包装 | 靶材应采用防震、防潮、防锈的包装材料进行包装。 |
| 3 | 运输 | 靶材应轻装轻卸，防止碰撞、摩擦和振动。 |
| 4 | 贮存 | 靶材应存放在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中，避免与其他金属接触。 |
| 5 | 有效期限 | 靶材的有效期限为一年。 |

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