SH/T 0294-1992
扩散泵油极限压强测定法
发布时间:1992-05-20 实施时间:1992-05-20
扩散泵是一种用于真空系统中的高真空泵,其工作原理是利用扩散效应将气体分子扩散到较大的容积中,从而达到抽真空的目的。扩散泵的油极限压强是指在扩散泵内部加入一定量的油后,泵的最低真空度。油极限压强是扩散泵的重要性能指标之一,对于保证扩散泵的正常工作和真空系统的稳定性具有重要意义。
本标准规定了扩散泵油极限压强的测定方法。具体步骤如下:
1. 准备工作
(1)将扩散泵内的油全部抽出,清洗干净。
(2)将扩散泵的进口和出口密封好,接上真空计。
(3)将扩散泵加热至80℃左右,保持30分钟。
2. 测定油极限压强
(1)将扩散泵内加入一定量的油,一般为扩散泵内部容积的1/3。
(2)将扩散泵加热至80℃左右,保持30分钟。
(3)逐渐开启扩散泵的进口阀门,使气体进入扩散泵内。
(4)当真空计读数达到一定值时,记录下此时的真空度和进口气体流量。
(5)逐渐增加进口气体流量,直至真空度下降到一定值时,记录下此时的真空度和进口气体流量。
(6)重复步骤(5),直至真空度下降到一定值时,记录下此时的真空度和进口气体流量。
(7)根据记录的数据,绘制出真空度与进口气体流量的曲线图。
(8)根据曲线图,确定扩散泵的油极限压强。
相关标准
GB/T 3856-2008 扩散泵技术条件
GB/T 3857-2008 扩散泵试验方法
GB/T 3858-2008 扩散泵安装和使用规范
GB/T 3859-2008 扩散泵检验规程
GB/T 3860-2008 扩散泵标志、包装、运输和贮存