等离子体增强化学气相沉积（PECVD）是一种常用的薄膜制备技术，其主要应用于半导体、光电子、显示器件等领域。覆膜石英管是PECVD工艺中的重要组成部分，其质量直接影响到薄膜的性能和稳定性。为了保证覆膜石英管的质量，提高薄膜的制备效率和稳定性，本标准制定了相关的技术规范和工艺要求。

本标准对覆膜石英管进行了分类，分为普通型和高纯型两种。普通型覆膜石英管适用于一般的PECVD工艺，而高纯型覆膜石英管则适用于对杂质要求较高的PECVD工艺。同时，本标准还对覆膜石英管的外观、尺寸、物理性能、化学性能等方面进行了详细的要求。

在试验方法方面，本标准规定了对覆膜石英管进行外观检查、尺寸测量、物理性能测试、化学性能测试等方面的试验方法。其中，物理性能测试包括热膨胀系数、热导率、热震稳定性等方面的测试；化学性能测试包括化学稳定性、酸碱稳定性等方面的测试。

在检验规则方面，本标准规定了对覆膜石英管进行检验的方法和标准。对于不合格的覆膜石英管，应当按照本标准的要求进行处理或者退货。

在标志、包装、运输和贮存方面，本标准也进行了详细的规定。对于符合要求的覆膜石英管，应当在其表面标注相关的标志；在包装、运输和贮存方面，应当注意防潮、防震、防碰撞等方面的要求。

相关标准
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