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半导体用透明石英玻璃管是一种用于制造半导体器件的重要材料。为了保证半导体器件的质量和稳定性,对透明石英玻璃管的质量要求非常高。JC/T 597-2011半导体用透明石英玻璃管是我国制定的标准,旨在规范透明石英玻璃管的生产和使用,保证半导体器件的质量和稳定性。
该标准将半导体用透明石英玻璃管分为两类:一类是用于制造半导体器件的透明石英玻璃管,另一类是用于制造光纤的透明石英玻璃管。对于用于制造半导体器件的透明石英玻璃管,该标准规定了其外观、尺寸、物理性能、化学性能、光学性能、热稳定性等方面的要求。同时,该标准还规定了透明石英玻璃管的试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等方面的要求。
在透明石英玻璃管的外观方面,该标准规定了其表面应平整、光洁,无裂纹、气泡、石英夹杂物等缺陷。在尺寸方面,该标准规定了透明石英玻璃管的直径、壁厚、长度等尺寸应符合规定的公差范围。在物理性能方面,该标准规定了透明石英玻璃管的密度、硬度、弹性模量、热膨胀系数等物理性能应符合规定的要求。在化学性能方面,该标准规定了透明石英玻璃管的化学稳定性、酸碱抗性等化学性能应符合规定的要求。在光学性能方面,该标准规定了透明石英玻璃管的透光率、折射率等光学性能应符合规定的要求。在热稳定性方面,该标准规定了透明石英玻璃管的热稳定性应符合规定的要求。
除了对透明石英玻璃管的要求外,该标准还规定了透明石英玻璃管的试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等方面的要求。在试验方法方面,该标准规定了透明石英玻璃管的物理性能、化学性能、光学性能、热稳定性等方面的试验方法。在检验规则方面,该标准规定了透明石英玻璃管的检验方法和检验规则。在标志方面,该标准规定了透明石英玻璃管的标志内容和标志位置。在包装、运输和贮存方面,该标准规定了透明石英玻璃管的包装、运输和贮存要求。
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