JC/T 2064-2011
半导体用透明石英玻璃棒
发布时间:2011-12-20 实施时间:2012-07-01


透明石英玻璃棒是一种用于制造半导体器件的重要材料。本标准规定了透明石英玻璃棒的分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存,以确保其质量符合要求。

透明石英玻璃棒按照其外形形状分为圆形和方形两种。按照其用途分为普通透明石英玻璃棒和高纯透明石英玻璃棒两种。普通透明石英玻璃棒适用于制造普通半导体器件,而高纯透明石英玻璃棒适用于制造高性能半导体器件。

透明石英玻璃棒的要求包括外观质量、尺寸和光学性能等方面。外观质量要求表面光滑、无裂纹、气泡、夹杂物等缺陷。尺寸要求直径或边长、长度、圆度、平直度等符合标准规定。光学性能要求透光率、折射率、色散等符合标准规定。

透明石英玻璃棒的试验方法包括外观检查、尺寸测量、光学性能测量等。检验规则包括抽样、检验方法、判定规则等。标志要求在透明石英玻璃棒上标注生产厂家、规格型号、生产日期等信息。包装要求透明石英玻璃棒应采用防震、防潮、防污染的包装材料进行包装。运输和贮存要求透明石英玻璃棒应避免受到震动、碰撞、摩擦等影响,存放在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中。

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