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半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法是一项重要的测试方法，该方法适用于半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定。本标准主要包括以下内容：

1.范围
本标准适用于半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定。

2.引用标准
本标准引用了以下标准：
GB/T 601-2007 金属及其化合物中碳、硫的测定 高频感应炉燃烧红外吸收法
GB/T 8170-2008 数值舍入规则及其应用
GB/T 19580-2004 电感耦合等离子体原子发射光谱分析方法

3.术语和定义
本标准中使用的术语和定义与GB/T 19580-2004相同。

4.原理
将硅溶胶样品加入电感耦合等离子体原子发射光谱仪中，利用电感耦合等离子体将样品中的杂质元素激发成原子态，然后测定其发射光谱，根据发射光谱的强度计算出杂质元素的含量。

5.试验仪器和设备
5.1 电感耦合等离子体原子发射光谱仪
5.2 恒温水浴器
5.3 超声波清洗器
5.4 电子天平
5.5 烘箱

6.试验样品
试验样品应符合以下要求：
6.1 样品应为半导体抛光液用硅溶胶。
6.2 样品应经过干燥处理，并在烘箱中恒温烘干至恒重。

7.试验步骤
7.1 样品的制备
7.2 样品的测定
7.3 样品的计算

8.结果表示
8.1 结果的计算
8.2 结果的表示

9.精密度和准确度
9.1 精密度
9.2 准确度

10.质量控制
10.1 样品的制备
10.2 样品的测定
10.3 质量控制图

11.报告
11.1 报告内容
11.2 报告格式

相关标准：
GB/T 601-2007 金属及其化合物中碳、硫的测定 高频感应炉燃烧红外吸收法
GB/T 8170-2008 数值舍入规则及其应用
GB/T 19580-2004 电感耦合等离子体原子发射光谱分析方法
GB/T 8171.1-2008 数值数据的舍入和进位 第1部分：一般原则
GB/T 8171.2-2008 数值数据的舍入和进位 第2部分：针对测量结果的特殊规定