镀膜玻璃是一种广泛应用于建筑、汽车、电子等领域的高级玻璃制品，其制备过程中需要使用靶材。靶材是指用于物理气相沉积、磁控溅射等镀膜工艺的材料，其质量直接影响到镀膜玻璃的性能和质量。本标准旨在规范镀膜玻璃用靶材的质量要求，保证其稳定性和可靠性。

1. 分类
根据靶材的化学成分和用途，本标准将镀膜玻璃用靶材分为氧化物靶材、金属靶材、合金靶材、复合靶材等四类。

2. 化学成分
靶材的化学成分应符合相关标准或协议要求，其中氧化物靶材的纯度应不低于99.9%，金属靶材的纯度应不低于99.99%，合金靶材的成分应符合设计要求，复合靶材的各组分应符合设计要求。

3. 物理性能
靶材的密度、晶体结构、热膨胀系数、热导率、电导率等物理性能应符合设计要求，并应进行测试和记录。

4. 质量控制
靶材的制备过程应符合相关标准或协议要求，制备过程中应进行质量控制，包括原材料的检验、制备工艺的控制、成品的检验等环节。靶材应进行标识和包装，标识应包括靶材名称、批号、生产日期、生产厂家等信息。

相关标准
GB/T 1196-2008 金属及其化合物化学分析方法
GB/T 8170-2008 数字表示法和圆整规则
GB/T 12967.3-2008 金属材料热膨胀系数的测定 第3部分：线膨胀法
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