1. 范围
本标准适用于多晶硅生产用氮化硅陶瓷绝缘体的制造、检验和使用。

2. 分类和要求
2.1 分类
氮化硅陶瓷绝缘体按照其用途和形状分为以下几类：
（1）管式绝缘体
（2）板式绝缘体
（3）其他形状绝缘体

2.2 要求
氮化硅陶瓷绝缘体应符合以下要求：
（1）耐热性能：在1000℃下，氮化硅陶瓷绝缘体应无明显变形和开裂。
（2）机械强度：氮化硅陶瓷绝缘体应具有一定的机械强度，能够承受正常的机械载荷。
（3）化学稳定性：氮化硅陶瓷绝缘体应具有良好的化学稳定性，不受多晶硅生产过程中的化学腐蚀和氧化影响。
（4）尺寸精度：氮化硅陶瓷绝缘体应符合设计要求的尺寸精度。
（5）表面质量：氮化硅陶瓷绝缘体表面应光滑平整，无明显缺陷和瑕疵。

3. 试验方法
氮化硅陶瓷绝缘体的试验方法应符合以下标准：
（1）GB/T 3810.1-2006 陶瓷材料试验方法 第1部分：一般原则
（2）GB/T 3810.2-2006 陶瓷材料试验方法 第2部分：机械性能试验方法
（3）GB/T 3810.3-2006 陶瓷材料试验方法 第3部分：热性能试验方法
（4）GB/T 3810.4-2006 陶瓷材料试验方法 第4部分：化学稳定性试验方法

4. 检验规则
氮化硅陶瓷绝缘体的检验规则应符合以下标准：
（1）GB/T 2828.1-2012 抽样检验程序 第1部分：按计划抽样程序
（2）GB/T 2829-2002 陶瓷制品检验规则

5. 标志、包装、运输和贮存
氮化硅陶瓷绝缘体的标志、包装、运输和贮存应符合以下标准：
（1）GB/T 191-2008 包装、储存和运输图形符号
（2）GB/T 16483-2008 包装储存运输标志通用规范

相关标准
GB/T 3810.1-2006 陶瓷材料试验方法 第1部分：一般原则
GB/T 3810.2-2006 陶瓷材料试验方法 第2部分：机械性能试验方法
GB/T 3810.3-2006 陶瓷材料试验方法 第3部分：热性能试验方法
GB/T 3810.4-2006 陶瓷材料试验方法 第4部分：化学稳定性试验方法
GB/T 2828.1-2012 抽样检验程序 第1部分：按计划抽样程序