石英玻璃碇是一种高温、高压、高强度、高耐腐蚀性能的特种玻璃制品，广泛应用于化学、电子、光学、航空航天等领域。本标准适用于采用氢氧焰化学气相沉积法制备石英玻璃碇的生产企业和科研单位。

1.范围
本标准规定了石英玻璃碇的氢氧焰化学气相沉积法制备方法、设备、原材料、工艺条件、试样制备、性能测试、检验规则和标志、包装、运输、贮存等要求。

2.引用标准
GB/T 191-2008 线性尺寸测量公差
GB/T 2828.1-2012 一般抽样程序及抽样表的制定 第1部分：按比例分层抽样程序（ISO 2859-1：1999，MOD）
GB/T 2829-2002 一般检验程序的抽样规则及表
GB/T 8170-2008 数值圆整规则及限制
GB/T 9963-2011 石英玻璃碇

3.术语和定义
3.1 石英玻璃碇
指采用氢氧焰化学气相沉积法制备的石英玻璃制品，具有高温、高压、高强度、高耐腐蚀性能。

3.2 氢氧焰化学气相沉积法
指利用氢氧焰化学反应产生的高温、高压、高能量等特性，在石英玻璃碇的基体上沉积一层石英玻璃膜的制备方法。

4.设备
4.1 氢氧焰化学气相沉积设备应具有以下基本要求：
a) 稳定的氢氧焰化学反应产生的高温、高压、高能量等特性；
b) 稳定的气体流量和压力控制系统；
c) 稳定的基体加热系统；
d) 稳定的石英玻璃膜沉积系统。

4.2 氢氧焰化学气相沉积设备应具有以下附加要求：
a) 稳定的气体流量和压力控制系统；
b) 稳定的基体加热系统；
c) 稳定的石英玻璃膜沉积系统。

5.原材料
5.1 石英玻璃碇的基体应符合GB/T 9963-2011的要求。
5.2 氢氧焰化学气相沉积法制备石英玻璃碇的气体应符合以下要求：
a) 氢气纯度不低于99.99%；
b) 氧气纯度不低于99.99%。

6.工艺条件
6.1 氢氧焰化学气相沉积法制备石英玻璃碇的工艺条件应符合以下要求：
a) 氢氧焰化学反应产生的高温、高压、高能量等特性应稳定；
b) 气体流量和压力应稳定；
c) 基体加热温度应稳定；
d) 石英玻璃膜沉积速率应稳定。

7.试样制备
7.1 试样应符合GB/T 191-2008的要求。
7.2 试样制备应符合以下要求：
a) 试样应为石英玻璃碇；
b) 试样应具有一定的尺寸和形状。

8.性能测试
8.1 性能测试应符合GB/T 9963-2011的要求。
8.2 性能测试应包括以下项目：
a) 石英玻璃碇的线性尺寸测量；
b) 石英玻璃碇的耐腐蚀性能测试；
c) 石英玻璃碇的强度测试。

9.检验规则和标志
9.1 检验规则应符合GB/T 2828.1-2012、GB/T 2829-2002的要求。
9.2 石英玻璃碇应标注以下内容：
a) 石英玻璃碇的名称和型号；
b) 石英玻璃碇的生产厂家；
c) 石英玻璃碇的生产日期；
d) 石英玻璃碇的质量等级。

10.包装、运输、贮存
10.1 包装应符合GB/T 8170-2008的要求。
10.2 运输应符合国家相关法律法规的要求。
10.3 贮存应在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境下进行。

相关标准
GB/T 9963-2011 石英玻璃碇
GB/T 191-2008 线性尺寸测量公差
GB/T 2828.1-2012 一般抽样程序及抽样表的制定 第1部分：按比例分层抽样程序（ISO 2859-1：1999，MOD）
GB/T 2829-2002 一般检验程序的抽样规则及表
GB/T 8170-2008 数值圆整规则及限制