JC/T 1048-2018
单晶硅生长用石英坩埚
发布时间:2018-10-22 实施时间:2019-04-01
单晶硅是半导体材料的重要组成部分,其生长过程需要使用石英坩埚。石英坩埚的质量直接影响到单晶硅的质量和产量。为了保证单晶硅的质量和生产效率,制定了JC/T 1048-2018 单晶硅生长用石英坩埚标准。
该标准将单晶硅生长用石英坩埚分为四类:普通型、高纯型、超高纯型和特种型。其中,普通型适用于一般生产;高纯型适用于高纯单晶硅生产;超高纯型适用于超高纯单晶硅生产;特种型适用于特殊要求的单晶硅生产。
标准对石英坩埚的要求包括:化学成分、物理性能、外观质量、尺寸和偏差、表面质量、内部质量、耐热性能、耐热冲击性能、耐热循环性能、耐化学腐蚀性能、耐热震性能、耐热氧化性能、耐热疲劳性能等方面。标准还规定了石英坩埚的试验方法和检验规则。
标准要求石英坩埚应当标注生产厂家、型号、批号、生产日期等信息,并应当进行包装、运输和贮存。标准还规定了石英坩埚的包装方式和运输方式。
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