XB/T 515-2020
钪铝合金靶材
发布时间:2020-12-09 实施时间:2021-04-01


钪铝合金靶材是一种用于物理气相沉积、磁控溅射、电子束蒸发等薄膜制备技术的重要材料。为了保证钪铝合金靶材的质量和稳定性,XB/T 515-2020 钪铝合金靶材标准被制定出来。

该标准规定了钪铝合金靶材的分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。其中,分类包括按成分分为纯钪靶材和钪铝合金靶材两种;按形状分为圆形、方形、矩形等多种形状。

钪铝合金靶材的要求包括化学成分、杂质含量、密度、晶粒度、表面质量、尺寸和形状等方面。其中,化学成分要求钪含量在99.9%以上,杂质含量要求低于0.1%;密度要求在95%以上,晶粒度要求在10μm以下;表面质量要求无裂纹、气泡、夹杂等缺陷,尺寸和形状要求符合标准规定。

试验方法包括化学成分分析、杂质含量测定、密度测定、晶粒度测定、表面质量检验、尺寸和形状检验等多个方面。检验规则包括抽样、检验方法、判定规则等方面。

标志包括产品名称、化学成分、尺寸和形状、批号等信息。包装要求符合运输和贮存的要求,防止靶材在运输和贮存过程中受到损坏。

相关标准:
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