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电力半导体器件是电力电子技术的重要组成部分，其工艺制造需要使用高纯水。高纯水是指经过特殊处理后，去除了水中的杂质和离子，达到一定纯度的水。本标准规定了电力半导体器件工艺用高纯水的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输及贮存。

1. 技术要求
1.1 高纯水的纯度应符合表1的要求。
1.2 高纯水的电导率应小于5μS/cm。
1.3 高纯水的PH值应在6.5~7.5之间。
1.4 高纯水的总有机碳含量应小于0.5mg/L。
1.5 高纯水的微生物总数应小于100CFU/mL。
1.6 高纯水的细菌总数应小于10CFU/mL。
1.7 高纯水的内毒素含量应小于0.25EU/mL。

2. 试验方法
2.1 纯度的试验方法应符合GB/T 6682的规定。
2.2 电导率的试验方法应符合GB/T 6682的规定。
2.3 PH值的试验方法应符合GB/T 6368的规定。
2.4 总有机碳含量的试验方法应符合GB/T 5750的规定。
2.5 微生物总数的试验方法应符合GB/T 4789.2的规定。
2.6 细菌总数的试验方法应符合GB/T 4789.2的规定。
2.7 内毒素含量的试验方法应符合GB/T 16886的规定。

3. 检验规则和标志
3.1 检验规则应符合GB/T 2828的规定。
3.2 高纯水应标明生产日期、生产厂家、纯度等级、电导率、PH值、总有机碳含量、微生物总数、细菌总数、内毒素含量等信息。

4. 包装、运输及贮存
4.1 包装应符合GB/T 191的规定。
4.2 运输应符合GB/T 4787的规定。
4.3 贮存应在阴凉、干燥、通风、无异味的环境中，避免阳光直射和雨淋。

相关标准：
GB/T 6682-2008 水分析用电导率和电阻率的测定
GB/T 6368-2017 水质 PH 值的测定
GB/T 5750-2006 水质 总有机碳的测定
GB/T 4789.2-2016 食品微生物学 检验方法 第2部分：菌落总数的测定
GB/T 16886-2017 生物制品内毒素检测方法