俄歇电子能谱术是一种利用俄歇电子能谱仪测定样品表面元素组成的方法。该方法适用于分析金属、合金、非金属材料、涂层、薄膜等样品的表面元素组成。本标准规定了俄歇电子能谱术元素鉴定方法的基本原理、仪器设备、样品制备、操作程序、数据处理和结果报告等内容。

1.基本原理
俄歇电子能谱术是利用样品表面受到高能电子轰击后，样品表面原子发射出的俄歇电子能谱来分析样品表面元素组成的方法。俄歇电子能谱术可以分析样品表面的元素种类、含量、化学状态等信息。

2.仪器设备
俄歇电子能谱仪是俄歇电子能谱术的核心设备。俄歇电子能谱仪由电子枪、样品台、能量分析器、检测器等部分组成。电子枪产生高能电子束，照射到样品表面，样品表面原子发射出的俄歇电子经过能量分析器分析后，被检测器检测到并转化为电信号输出。

3.样品制备
样品制备是俄歇电子能谱术的重要环节。样品制备应根据不同的样品性质和分析要求进行选择。常用的样品制备方法有机械抛光、电解抛光、离子抛光等。

4.操作程序
俄歇电子能谱术的操作程序包括样品制备、仪器调试、样品测量等环节。在进行样品测量前，应进行仪器调试，包括电子枪调试、能量分析器调试、检测器调试等。

5.数据处理
俄歇电子能谱术的数据处理包括数据采集、数据处理、结果分析等环节。数据采集应根据实际情况选择合适的采集时间和采集模式。数据处理包括背景扣除、峰位拟合、峰面积计算等。结果分析应根据实际情况进行。

6.结果报告
俄歇电子能谱术的结果报告应包括样品名称、分析元素、分析结果等内容。分析结果应包括元素种类、含量、化学状态等信息。

相关标准
GB/T 20123-2006 金属材料表面化学分析方法 俄歇电子能谱法
GB/T 20124-2006 金属材料表面化学分析方法 X射线光电子能谱法
GB/T 20125-2006 金属材料表面化学分析方法 扫描电子显微镜-能谱分析法
GB/T 20126-2006 金属材料表面化学分析方法 原子力显微镜-能谱分析法
GB/T 20127-2006 金属材料表面化学分析方法 能量色散X射线荧光光谱法