无粉腐蚀机是一种用于化学腐蚀的设备，主要用于制造半导体、光电子、电子元器件等高科技产品。本标准规定了无粉腐蚀机的技术要求和试验方法，以确保其质量和安全性。

1. 术语和定义
本标准中使用的术语和定义与GB/T 2900.1-2008《机械安全术语》相同。

2. 分类
无粉腐蚀机按照其结构形式分为立式和卧式两种。

3. 技术要求
3.1 外观质量
无粉腐蚀机的外观应平整、光滑，无明显的凹凸、裂纹、气泡、砂眼、毛刺等缺陷。

3.2 机械性能
无粉腐蚀机的机械性能应符合设计要求，其结构应稳定，运行平稳，无明显的振动和噪音。

3.3 腐蚀性能
无粉腐蚀机的腐蚀性能应符合设计要求，其腐蚀介质应符合使用要求，不得对设备造成损害。

3.4 安全性能
无粉腐蚀机的安全性能应符合GB/T 14710-2009《化学腐蚀危险性评价标准》和GB/T 5226.1-2008《机械安全》的要求，其电气设备应符合GB 4793.1-2007《安全要求》的要求。

4. 试验方法
4.1 外观检验
对无粉腐蚀机进行外观检验时，应使用肉眼或放大镜进行检查，检查其表面是否平整、光滑，是否有明显的缺陷。

4.2 机械性能试验
对无粉腐蚀机进行机械性能试验时，应按照设计要求进行试验，检查其结构是否稳定，运行是否平稳，是否有明显的振动和噪音。

4.3 腐蚀性能试验
对无粉腐蚀机进行腐蚀性能试验时，应按照设计要求进行试验，检查其腐蚀介质是否符合使用要求，是否对设备造成损害。

4.4 安全性能试验
对无粉腐蚀机进行安全性能试验时，应按照GB/T 14710-2009《化学腐蚀危险性评价标准》和GB/T 5226.1-2008《机械安全》的要求进行试验，检查其电气设备是否符合GB 4793.1-2007《安全要求》的要求。

5. 检验规则
无粉腐蚀机的检验应按照GB/T 2828.1-2012《抽样检验程序》进行，检验合格后方可出厂。

6. 标志、包装、运输和贮存
无粉腐蚀机的标志、包装、运输和贮存应符合GB/T 191-2008《包装通用术语》和GB/T 13384-2008《机械产品包装通用技术条件》的要求。

相关标准
GB/T 2900.1-2008 机械安全术语
GB/T 14710-2009 化学腐蚀危险性评价标准
GB/T 5226.1-2008 机械安全
GB 4793.1-2007 安全要求
GB/T 2828.1-2012 抽样检验程序