：
气相沉积薄膜是一种常见的薄膜制备技术，其附着力是评价薄膜质量的重要指标之一。本标准规定了一种划痕试验法，用于评价气相沉积薄膜与基体的附着力。

划痕试验法是一种常见的表面力学测试方法，其原理是在材料表面划过一定深度的划痕，然后通过观察划痕的形态和尺寸来评价材料的力学性能。在本标准中，划痕试验法被用于评价气相沉积薄膜与基体的附着力。

本标准规定了划痕试验的具体步骤和要求。首先，需要准备好划痕试验仪和相应的划痕工具。然后，在样品表面制备一定深度的划痕，并通过显微镜观察划痕的形态和尺寸。最后，根据划痕的形态和尺寸来评价气相沉积薄膜与基体的附着力。

本标准还规定了划痕试验的评价标准。根据划痕的形态和尺寸，将气相沉积薄膜与基体的附着力分为五个等级，从最好到最差分别为0级、1级、2级、3级和4级。

本标准适用于评价气相沉积薄膜与基体的附着力，可以用于各种材料的表面力学测试。

相关标准：
GB/T 6461-2002 金属材料划痕试验方法
GB/T 9286-1998 金属材料表面附着力试验方法
GB/T 9287-1998 金属材料表面附着力试验方法
GB/T 9288-1998 金属材料表面附着力试验方法
GB/T 9289-1998 金属材料表面附着力试验方法