JB/T 5610-2006
激光干涉仪
发布时间:2006-10-04 实施时间:2007-04-01
:
激光干涉仪是一种用于测量物体表面形状和运动状态的高精度测量仪器。它利用激光干涉原理,通过测量光程差来确定物体表面的形状和运动状态。激光干涉仪广泛应用于机械制造、航空航天、电子、光学等领域。
本标准适用于激光干涉仪的设计、制造、检验和使用。其中,激光干涉仪按照测量方式可分为两类:静态激光干涉仪和动态激光干涉仪。静态激光干涉仪用于测量物体表面的静态形状,动态激光干涉仪用于测量物体表面的动态形状和运动状态。
本标准对激光干涉仪的要求包括:测量精度、分辨率、重复性、稳定性、线性度、灵敏度、测量范围等。同时,还对激光干涉仪的试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等方面进行了规定。
相关标准:
GB/T 19639-2005 激光器安全要求
GB/T 19640-2005 激光器标准术语
GB/T 19641-2005 激光器分类
GB/T 19642-2005 激光器试验方法
GB/T 19643-2005 激光器检验规则