JB/T 4081-2011
真空技术 溅射离子泵
发布时间:2011-12-20 实施时间:2012-04-01
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溅射离子泵是真空技术中的一种重要设备,广泛应用于半导体、光电、航空航天等领域。为了保证溅射离子泵的质量和性能,JB/T 4081-2011真空技术 溅射离子泵标准的发布对于行业的发展和进步具有重要意义。
该标准首先对溅射离子泵的术语和定义进行了规定,明确了相关概念,为后续的规范化操作提供了基础。其次,该标准对溅射离子泵的型号和规格进行了详细的说明,包括了泵的结构、工作原理、技术参数等内容,为用户选择和使用提供了依据。
在技术要求方面,该标准对溅射离子泵的各项性能指标进行了规定,包括泵的抽气速度、极限压力、泵的密封性、泵的可靠性等方面。同时,该标准还对泵的材料、加工工艺、表面处理等方面进行了要求,保证了泵的质量和性能。
在试验方法方面,该标准规定了溅射离子泵的各项试验方法,包括泵的性能试验、泵的密封性试验、泵的可靠性试验等方面。这些试验方法的规范化操作,可以保证试验结果的准确性和可比性,为用户提供了可靠的数据支持。
在检验规则方面,该标准对溅射离子泵的检验方法和标准进行了规定,包括泵的外观检验、泵的性能检验、泵的密封性检验等方面。这些检验规则的制定,可以保证泵的质量和性能符合标准要求,为用户提供了可靠的保障。
在标志、包装、运输和贮存方面,该标准对溅射离子泵的标志、包装、运输和贮存进行了规定,保证了泵的安全运输和贮存,为用户提供了便利。
相关标准:
GB/T 3856-2008真空技术 术语
GB/T 3857-2008真空技术 真空计量
GB/T 3858-2008真空技术 真空泵
GB/T 3859-2008真空技术 真空系统
GB/T 3860-2008真空技术 真空密封件