JB/T 8945-2010
真空溅射镀膜设备
发布时间:2010-02-21 实施时间:2010-07-01
真空溅射镀膜设备是一种常用的表面处理设备,广泛应用于电子、光学、机械等领域。为了保证设备的质量和安全性能,JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备标准被制定出来。
该标准主要包括以下内容:
1. 技术要求:包括设备的结构、工作原理、主要技术参数等。设备的结构应该合理,易于维护和保养;工作原理应该稳定可靠,能够满足不同的工艺要求;主要技术参数包括真空度、溅射功率、溅射速率等,这些参数对于设备的性能和镀膜质量有着重要的影响。
2. 检验方法:包括设备的出厂检验和使用过程中的定期检验。出厂检验应该包括设备的外观检查、电气性能检查、机械性能检查、真空度检查等;使用过程中的定期检验应该包括设备的安全性能检查、真空度检查、溅射功率检查等。这些检验方法能够保证设备的质量和性能。
3. 安全要求:包括设备的电气安全、机械安全、防爆安全等。设备应该符合国家相关的安全标准和规定,能够保证操作人员的人身安全和设备的安全性能。
本标准适用于各种真空溅射镀膜设备的设计、制造和检验。
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