计量光栅是一种用于光学测量的光学元件，具有一定的周期结构，可以将光学信号转换为电信号。为了保证计量光栅的质量和性能，需要对其进行标准化。本标准就是为了规范计量光栅的术语和定义而制定的。

本标准中涉及的术语包括：计量光栅、光栅常数、光栅周期、光栅线数、光栅条宽、光栅条间距、光栅条高度、光栅条形状、光栅条表面形态、光栅条材料、光栅条厚度、光栅条平整度、光栅条平行度、光栅条直线度、光栅条平面度、光栅条表面质量、光栅条表面处理、光栅基底材料、光栅基底厚度、光栅基底平整度、光栅基底平行度、光栅基底直线度、光栅基底平面度、光栅基底表面质量、光栅基底表面处理、光栅条与基底的粘结强度、光栅条与基底的热膨胀系数、光栅条与基底的热导率、光栅条与基底的热膨胀匹配度、光栅条与基底的热膨胀应力、光栅条与基底的热膨胀应力分布、光栅条与基底的热膨胀应力释放、光栅条与基底的热膨胀应力控制、光栅条与基底的热膨胀应力测试、光栅条与基底的热膨胀应力分析、光栅条与基底的热膨胀应力优化、光栅条与基底的热膨胀应力计算、光栅条与基底的热膨胀应力模拟、光栅条与基底的热膨胀应力控制技术等。

相关标准
GB/T 19639-2005 光学元件 表面质量
GB/T 19640-2005 光学元件 表面形态
GB/T 19641-2005 光学元件 表面处理
GB/T 19642-2005 光学元件 基底材料
GB/T 19643-2005 光学元件 基底平整度