磁悬浮分子泵是一种高性能、高可靠性的真空泵,广泛应用于半导体、光电、航空航天、医疗等领域。本标准旨在规范磁悬浮分子泵的技术要求、检验方法、标志、包装、运输和贮存,以确保其质量和安全性能。
1. 术语和定义
本标准中使用的术语和定义与GB/T 2900.1-2008《真空技术术语》相同。
2. 技术要求
2.1 总体要求
磁悬浮分子泵应具有良好的真空性能、高可靠性、低噪音、低振动、低温升和长寿命等特点。其设计、制造和检验应符合本标准的要求。
2.2 型号和规格
磁悬浮分子泵的型号和规格应符合设计要求,并应在产品标志中注明。
2.3 主要技术指标
磁悬浮分子泵的主要技术指标应符合设计要求,并应在产品标志中注明。
2.4 外观质量
磁悬浮分子泵的外观应平整、光滑、无裂纹、无气泡、无明显划痕和污渍等缺陷。
2.5 磁悬浮系统
磁悬浮分子泵的磁悬浮系统应具有良好的稳定性和可靠性,其磁悬浮轴承应具有良好的磁悬浮性能和耐磨性能。
2.6 分子泵系统
磁悬浮分子泵的分子泵系统应具有良好的真空性能和抽气速度,其分子泵转子应具有良好的平衡性和耐腐蚀性能。
2.7 电机系统
磁悬浮分子泵的电机系统应具有良好的稳定性和可靠性,其电机应符合相关标准的要求。
2.8 控制系统
磁悬浮分子泵的控制系统应具有良好的稳定性和可靠性,其控制器应具有良好的控制性能和操作性能。
3. 检验方法
3.1 外观检验
磁悬浮分子泵的外观检验应符合GB/T 2828.1-2012《抽样检验程序》的要求。
3.2 磁悬浮系统检验
磁悬浮分子泵的磁悬浮系统检验应符合GB/T 2828.2-2012《抽样检验程序》的要求。
3.3 分子泵系统检验
磁悬浮分子泵的分子泵系统检验应符合GB/T 2828.3-2012《抽样检验程序》的要求。
3.4 电机系统检验
磁悬浮分子泵的电机系统检验应符合GB/T 2828.4-2012《抽样检验程序》的要求。
3.5 控制系统检验
磁悬浮分子泵的控制系统检验应符合GB/T 2828.5-2012《抽样检验程序》的要求。
4. 标志、包装、运输和贮存
4.1 标志
磁悬浮分子泵的标志应包括型号、规格、生产厂家、生产日期、产品标志等内容。
4.2 包装
磁悬浮分子泵的包装应符合GB/T 191-2008《包装通用术语》和GB/T 4857.1-2005《包装运输用纸箱》的要求。
4.3 运输
磁悬浮分子泵的运输应符合GB/T 13384-2008《包装物运输用车辆的技术条件》的要求。
4.4 贮存
磁悬浮分子泵的贮存应符合GB/T 13384-2008《包装物运输用车辆的技术条件》的要求。
相关标准
GB/T 2900.1-2008 真空技术术语
GB/T 2828.1-2012 抽样检验程序
GB/T 2828.2-2012 抽样检验程序
GB/T 2828.3-2012 抽样检验程序
GB/T 2828.4-2012 抽样检验程序
GB/T 2828.5-2012 抽样检验程序