平面相移干涉仪是一种用于测量物体表面形貌和光学元件表面质量的光学仪器。本标准适用于平面相移干涉仪的设计、制造、检验和使用。

本标准对平面相移干涉仪进行了分类，分为激光干涉仪、白光干涉仪和多色干涉仪。对于不同类型的干涉仪，本标准规定了不同的要求和试验方法。

本标准要求平面相移干涉仪应具有良好的稳定性、重复性和精度。对于干涉仪的光源、检测器、光路、相移装置等关键部件，本标准规定了相应的要求和试验方法。

本标准还规定了平面相移干涉仪的检验规则，包括外观检查、功能检查、精度检查等。对于不符合要求的干涉仪，本标准也规定了相应的处理方法。

本标准还规定了平面相移干涉仪的标志、包装、运输和贮存要求。对于干涉仪的标志，应包括产品名称、型号、生产厂家、生产日期等信息。对于干涉仪的包装、运输和贮存，应注意防潮、防震、防尘等措施。

相关标准
GB/T 19638-2019 光学元件表面质量检验方法
GB/T 19639-2019 光学元件表面形貌检验方法
GB/T 19640-2019 光学元件表面缺陷检验方法
GB/T 19641-2019 光学元件表面清洁度检验方法
GB/T 19642-2019 光学元件表面硬度检验方法