JB/T 14013-2020
集成电路切筋模 技术条件
发布时间:2020-12-09 实施时间:2021-07-01
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集成电路切筋模是用于切割集成电路晶圆的模具,是集成电路制造过程中不可或缺的工具。为了保证集成电路的质量和稳定性,切筋模的制造和使用必须符合一定的技术条件。本标准就是为了规范集成电路切筋模的制造和使用而制定的。
本标准首先对集成电路切筋模的术语和定义进行了说明,以便于标准的理解和应用。然后对集成电路切筋模进行了分类,包括按照切割方式、切割方向、切割形状等方面进行分类。在分类的基础上,本标准对集成电路切筋模的要求进行了详细的规定,包括材料、尺寸、形状、表面质量、硬度、耐磨性、精度等方面的要求。
为了保证集成电路切筋模的质量和稳定性,本标准还对集成电路切筋模的试验方法进行了规定,包括外观检查、尺寸测量、硬度测量、耐磨性试验、精度试验等方面的试验方法。同时,本标准还对集成电路切筋模的检验规则进行了规定,包括检验方法、检验标准、检验结果判定等方面的规定。
最后,本标准还对集成电路切筋模的标志、包装、运输和贮存进行了规定,以便于集成电路切筋模的管理和使用。
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