IEC 60748-20-1:1994是半导体器件-集成电路-第20部分的通用规范，适用于薄膜集成电路和混合薄膜集成电路。本标准规定了内部视觉检查的要求，包括检查的方法、检查的内容、检查的标准等。本标准的目的是确保薄膜集成电路和混合薄膜集成电路的质量和可靠性。

本标准要求对薄膜集成电路和混合薄膜集成电路进行内部视觉检查。内部视觉检查是指通过显微镜等工具对器件内部进行检查，以确定器件内部是否存在缺陷、损伤或其他不良情况。内部视觉检查的目的是确保器件内部的质量和可靠性，以提高器件的性能和寿命。

本标准规定了内部视觉检查的方法和要求。内部视觉检查应在清洁、干燥、无尘的环境下进行。检查时应使用适当的显微镜和照明设备，以确保能够清晰地观察到器件内部的情况。检查时应注意保护器件表面，避免对器件造成损伤。

本标准还规定了内部视觉检查的内容和标准。内部视觉检查应包括对器件内部的结构、连接、电路等进行检查，以确定是否存在缺陷、损伤或其他不良情况。检查时应按照本标准规定的标准进行评估，以确定器件是否符合要求。

总之，IEC 60748-20-1:1994是半导体器件-集成电路-第20部分的通用规范，适用于薄膜集成电路和混合薄膜集成电路。本标准规定了内部视觉检查的要求，包括检查的方法、检查的内容、检查的标准等。本标准的目的是确保薄膜集成电路和混合薄膜集成电路的质量和可靠性。

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