半导体器件在使用过程中,会受到各种环境因素的影响,其中湿度是一个重要的因素。在高温高湿的环境下,半导体器件可能会出现失效,影响其可靠性。因此,对半导体器件的湿度阻力进行测试,是评估其可靠性的重要手段之一。
IEC 60749-24:2004规定了加速湿度阻力-无偏HAST的测试方法。该测试方法是在高温高湿的环境下进行的,通过加速湿度阻力测试,可以模拟半导体器件在实际使用中可能遇到的环境条件,评估其在高温高湿环境下的可靠性。
测试条件:
1. 温度:110℃±2℃
2. 湿度:85%RH±5%
3. 气压:1.4±0.1atm
4. 测试时间:96h
测试方法:
1. 将待测试的半导体器件放置在测试设备中,使其暴露在高温高湿的环境下。
2. 在测试过程中,定期检查半导体器件的性能和外观,记录测试结果。
3. 测试结束后,对测试结果进行评估,判断半导体器件的可靠性。
测试结果的评估:
1. 电性能测试:测试半导体器件的电性能是否符合规定的要求。
2. 外观检查:检查半导体器件的外观是否有异常,如氧化、腐蚀等。
3. 尺寸测量:测量半导体器件的尺寸是否有变化。
4. 金属化学分析:对半导体器件进行金属化学分析,判断是否有金属元素的迁移。
5. 显微结构分析:对半导体器件进行显微结构分析,判断是否有结构变化。
IEC 60749-24:2004标准的实施,可以有效评估半导体器件在高温高湿环境下的可靠性,为半导体器件的设计和生产提供重要的参考依据。
相关标准
- IEC 60749-1:1999 半导体器件-机械和气候试验方法-第1部分:一般原则和试验条件
- IEC 60749-3:1999 半导体器件-机械和气候试验方法-第3部分:机械试验
- IEC 60749-7:1999 半导体器件-机械和气候试验方法-第7部分:高温存储试验
- IEC 60749-14:1999 半导体器件-机械和气候试验方法-第14部分:温度循环试验
- IEC 60749-17:1999 半导体器件-机械和气候试验方法-第17部分:高温操作试验