IEC 62047-2:2006
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials
发布时间:2006-08-15 实施时间:


薄膜材料在半导体器件和微电子机械器件中广泛应用,如晶体管、传感器、MEMS等。由于薄膜材料的尺寸较小,因此其力学性能对器件的性能和可靠性有着重要的影响。因此,对薄膜材料的力学性能进行准确的测试和评估是非常必要的。

IEC 62047-2:2006标准主要介绍了薄膜材料的拉伸测试方法。该测试方法可以通过在薄膜材料上施加拉伸力来评估其力学性能。测试时,需要使用一台拉伸试验机,将薄膜材料夹在两个夹具之间,然后施加拉伸力,直到薄膜材料发生断裂。通过测试数据,可以计算出薄膜材料的弹性模量、屈服强度、断裂强度等力学性能指标。

该标准适用于各种类型的薄膜材料,包括金属、半导体和绝缘体等。测试时需要注意的是,薄膜材料的尺寸和形状应符合标准规定,以确保测试结果的准确性和可比性。此外,测试时还需要注意测试环境的温度和湿度等因素,以避免测试结果受到环境因素的影响。

通过IEC 62047-2:2006标准的测试方法,可以评估薄膜材料的力学性能,为半导体器件和微电子机械器件的设计和制造提供重要的参考依据。同时,该标准也为薄膜材料的生产和质量控制提供了标准化的测试方法。

相关标准
- IEC 62047-1:2004 半导体器件-微电子机械器件-第1部分:通用标准
- IEC 62047-3:2006 半导体器件-微电子机械器件-第3部分:压力测试方法
- IEC 62047-4:2006 半导体器件-微电子机械器件-第4部分:弯曲测试方法
- IEC 62047-5:2006 半导体器件-微电子机械器件-第5部分:旋转测试方法
- IEC 62047-6:2006 半导体器件-微电子机械器件-第6部分:振动测试方法