IEC 62374-1:2010
Semiconductor devices - Part 1: Time-dependent dielectric breakdown (TDDB) test for inter-metal layers
发布时间:2010-09-29 实施时间:
半导体器件是现代电子设备中不可或缺的组成部分,其可靠性和稳定性对设备的性能和寿命至关重要。金属层间时间依赖介电强度(TDDB)是半导体器件中一种常见的失效机制,其会导致器件的性能下降或失效。因此,对TDDB进行测试和评估是确保半导体器件可靠性和稳定性的重要步骤。
IEC 62374-1:2010规定了TDDB测试的方法和条件。测试方法包括在特定的温度和电场条件下施加电压,以评估金属层间的TDDB。测试条件包括温度、电场强度、电压施加时间和测试样品的准备方法。测试结果的评估方法包括计算TDDB的概率密度函数和可靠性指标。
该标准适用于各种类型的半导体器件,包括CMOS、BiCMOS、MOS、BJT和DMOS等。测试结果可用于评估器件的可靠性和稳定性,并为器件的设计和制造提供参考。
除了TDDB测试,半导体器件还需要进行其他类型的测试,以确保其可靠性和稳定性。以下是与IEC 62374-1:2010相关的其他标准:
相关标准
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