微电子机械系统（MEMS）是一种集成了微型机械、电子和计算机技术的微型系统。MEMS技术已经广泛应用于传感器、执行器、生物医学和通信等领域。MEMS材料的力学性能是MEMS器件设计和制造的关键因素之一。因此，对MEMS材料的力学性能进行准确的测量和评估非常重要。

IEC 62047-10:2011/COR1:2012 标准规定了用于测量MEMS材料的力学性能的试验方法。该标准中的微柱压缩试验是一种常用的试验方法，可以用于评估MEMS材料的强度、刚度和塑性变形等性能。在微柱压缩试验中，MEMS材料被压缩成微柱形状，然后测量其力学性能。

IEC 62047-10:2011/COR1:2012 标准中规定了微柱压缩试验的试验设备、试验方法和数据处理方法。试验设备包括压力传感器、位移传感器和压力控制系统等。试验方法包括样品制备、试验条件和试验过程等。数据处理方法包括数据采集、数据处理和结果分析等。

IEC 62047-10:2011/COR1:2012 标准的实施可以提高MEMS材料的力学性能测量的准确性和可重复性。该标准适用于各种MEMS材料，包括金属、半导体和陶瓷等材料。此外，该标准还可以用于评估MEMS器件的可靠性和寿命。

相关标准
- IEC 62047-1:2006 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: General
- IEC 62047-2:2006 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Terms and definitions
- IEC 62047-3:2006 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: MEMS for frequency control/selection
- IEC 62047-4:2006 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: MEMS for optical systems
- IEC 62047-5:2006 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: MEMS for fluidic applications