IEC 62047-14:2012标准规定了一种用于测量金属薄膜材料成形极限的方法。该标准适用于微电子机械器件中使用的金属薄膜材料，如微机械系统、传感器和执行器等。该标准的目的是为了确定金属薄膜材料的成形极限，以便在设计和制造微电子机械器件时进行合理的材料选择和工艺设计。

该标准中定义了成形极限的概念，即金属薄膜材料在受到外力作用下，发生塑性变形的最大程度。成形极限的测量方法包括两个步骤：首先是制备金属薄膜样品，然后是进行成形极限测试。制备金属薄膜样品时，需要选择合适的金属材料和薄膜厚度，并采用适当的制备工艺。成形极限测试时，需要使用专用的测试设备，对金属薄膜样品进行拉伸或压缩等力学测试，以确定其成形极限。

该标准还规定了成形极限测试的具体步骤和测试参数，包括测试设备的选择和校准、样品的制备和安装、测试条件的设定和控制等。此外，该标准还对测试结果的处理和分析进行了详细的说明，包括成形极限的计算方法、测试数据的处理和统计分析等。

IEC 62047-14:2012标准的实施可以帮助制造商和设计师选择合适的金属薄膜材料，并确定合理的工艺参数，以确保微电子机械器件的性能和可靠性。此外，该标准还可以为金属薄膜材料的研究和开发提供参考和指导。

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