微电子机械器件（MEMS）是一种集成了微型机械、电子和计算机技术的新型器件。由于其小型化、低功耗、高灵敏度等特点，MEMS在传感器、执行器、生物医学、通信等领域得到了广泛应用。MEMS器件通常由微型机械结构和电子器件组成，其中微型机械结构是由材料制成的。因此，材料的性能对MEMS器件的性能和可靠性有着至关重要的影响。

线性热膨胀系数是材料的一个重要性能指标，它描述了材料在温度变化时的尺寸变化。在MEMS器件中，由于微型机械结构的尺寸非常小，因此材料的线性热膨胀系数必须非常精确地控制。如果材料的线性热膨胀系数与其他组件不匹配，就会导致器件失效或性能下降。

IEC 62047-11:2013标准规定了用于测试自由支撑材料线性热膨胀系数的方法。自由支撑材料是指在测试过程中不受约束的材料，即没有被固定在基板上。该标准适用于单晶硅、多晶硅、氮化硅、氮化铝等材料。测试方法基于膜曲率法，通过测量材料在不同温度下的膜曲率来计算线性热膨胀系数。

该标准要求测试过程中要控制温度和环境条件，以确保测试结果的准确性和可重复性。测试过程中还需要使用高精度的仪器和设备，包括显微镜、光学干涉仪、温度控制器等。测试结果应该报告为线性热膨胀系数的平均值和标准偏差。

IEC 62047-11:2013标准提供了一种可重复、可比较的测试方法，以便评估材料的热膨胀性能。该标准的应用可以帮助MEMS制造商选择合适的材料，并优化器件的设计和制造过程，以提高器件的性能和可靠性。

相关标准
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