薄膜材料在微电子机械器件中扮演着重要的角色，因为它们通常用于制造微机械系统的结构和传感器。在微电子机械器件中，薄膜材料通常需要承受弯曲应力，因此评估薄膜材料的弯曲性能非常重要。IEC 62047-18:2013标准提供了一种标准化的测试方法，以评估薄膜材料的弯曲性能。

该标准适用于各种类型的薄膜材料，包括单层薄膜、多层薄膜和复合薄膜。测试方法包括在薄膜材料上施加一定的弯曲应力，并测量薄膜材料的弯曲半径和弯曲角度。测试结果可以用于评估薄膜材料的弯曲性能，以便在设计和制造微电子机械器件时提供参考。

IEC 62047-18:2013标准中还提供了一些测试的注意事项和要求。例如，测试时应使用适当的测试设备和工具，并确保测试环境的稳定性和一致性。此外，测试时还应注意薄膜材料的厚度和尺寸，以确保测试结果的准确性和可重复性。

总之，IEC 62047-18:2013标准提供了一种标准化的测试方法，以评估薄膜材料的弯曲性能。该标准适用于各种类型的薄膜材料，并提供了一些测试的注意事项和要求，以确保测试结果的准确性和可重复性。该标准的实施可以为微电子机械器件的设计和制造提供参考。

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