IEC TR 62632:2013
Nanoscale electrical contacts and interconnects
发布时间:2013-09-25 实施时间:


随着纳米技术的发展,纳米尺度电气接触和互连已成为纳米电子学领域的重要研究方向。纳米尺度电气接触和互连的性能对于纳米电子器件的性能和可靠性具有重要影响。因此,制定一套关于纳米尺度电气接触和互连的标准,对于推动纳米电子学的发展具有重要意义。

IEC TR 62632:2013主要涉及以下方面:

1. 纳米尺度电气接触和互连的定义和分类。该报告对纳米尺度电气接触和互连的定义进行了详细说明,并对其进行了分类,包括金属-金属接触、金属-半导体接触、半导体-半导体接触等。

2. 纳米尺度电气接触和互连的性能。该报告对纳米尺度电气接触和互连的性能进行了详细介绍,包括电阻、电导、接触电阻、接触电势等。

3. 纳米尺度电气接触和互连的制造。该报告对纳米尺度电气接触和互连的制造进行了详细介绍,包括纳米尺度电气接触和互连的制备方法、制备工艺、制备设备等。

4. 纳米尺度电气接触和互连的测试。该报告对纳米尺度电气接触和互连的测试进行了详细介绍,包括测试方法、测试设备、测试参数等。

5. 纳米尺度电气接触和互连的应用。该报告对纳米尺度电气接触和互连的应用进行了简要介绍,包括纳米电子器件、纳米传感器、纳米存储器等。

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