IEC TS 61967-3:2014标准主要介绍了表面扫描法的测量方法。该方法是通过在集成电路表面扫描电磁场的强度来测量电磁辐射水平的。在测量过程中，需要使用一台电磁场扫描仪，将其移动到集成电路表面的不同位置进行扫描。扫描仪会记录下每个位置的电磁场强度，并将其转换为电磁辐射水平的数值。

在进行表面扫描法测量之前，需要对测试环境进行准备。测试环境应该是一个电磁辐射控制室，以确保测试结果的准确性。在测试过程中，需要将集成电路放置在一个标准测试板上，并将其连接到一个标准测试电路。测试电路应该是一个能够模拟集成电路在工作状态下的电路，以确保测试结果的准确性。

在进行表面扫描法测量时，需要注意以下几点：

1. 测量应该在集成电路工作状态下进行，以确保测试结果的准确性。

2. 测量应该在不同频率下进行，以评估集成电路在不同频段下的电磁辐射水平。

3. 测量应该在不同功率下进行，以评估集成电路在不同功率下的电磁辐射水平。

4. 测量应该在不同温度下进行，以评估集成电路在不同温度下的电磁辐射水平。

通过表面扫描法测量集成电路的电磁辐射水平，可以评估其对周围环境和其他电子设备的干扰程度。如果集成电路的电磁辐射水平超过了规定的限值，就需要采取相应的措施来降低其电磁辐射水平，以确保其不会对周围环境和其他电子设备造成干扰。

相关标准
- IEC 61000-4-2:2008 电磁兼容性（EMC）-第4-2部分：静电放电（ESD）的试验和测量技术
- IEC 61000-4-3:2006 电磁兼容性（EMC）-第4-3部分：辐射电场试验
- IEC 61000-4-4:2012 电磁兼容性（EMC）-第4-4部分：瞬态传导耐受性试验
- IEC 61000-4-5:2014 电磁兼容性（EMC）-第4-5部分：暂态电压耐受性试验
- IEC 61000-4-6:2013 电磁兼容性（EMC）-第4-6部分：辐射电场耐受性试验