微电子机械器件是一种新型的微纳技术，它将微机电系统（MEMS）和半导体技术相结合，可以制造出微米级别的机械结构，具有体积小、重量轻、功耗低、响应速度快等优点。微电子机械器件中的微沟槽和针形结构是其中的重要组成部分，其描述和测量方法对于微电子机械器件的制造和应用具有重要意义。

微沟槽是一种具有微米级别尺寸的沟槽结构，其宽度和深度通常在1-100微米之间。微沟槽的制造方法包括光刻、电子束曝光、离子束刻蚀等。微沟槽的应用范围非常广泛，例如在微机械传感器中用于检测压力、流量、温度等物理量，还可以用于制造微流控芯片、微反应器等。

针形结构是一种具有微米级别尺寸的尖锐结构，其尖端半径通常在0.1-10微米之间。针形结构的制造方法包括离子束刻蚀、电化学腐蚀、电子束曝光等。针形结构的应用范围也非常广泛，例如在微机械执行器中用于控制微机械臂的运动，还可以用于制造微针阵列、微电极等。

IEC 62047-26:2016标准主要包括以下内容：

1.术语和定义：对微沟槽和针形结构的相关术语和定义进行了说明。

2.描述方法：对微沟槽和针形结构的形状、尺寸、表面形貌等进行了描述，并提供了相应的示意图和公式。

3.测量方法：对微沟槽和针形结构的测量方法进行了详细说明，包括扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、光学显微镜等。

4.测量不确定度：对微沟槽和针形结构的测量不确定度进行了分析和计算。

5.报告要求：对微沟槽和针形结构的测量结果进行了报告要求，包括测量数据、测量不确定度、测量方法等。

相关标准
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IEC 62047-2:2015 半导体器件-微电子机械器件-第2部分：术语和定义
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