电离是一种常用的电静电控制方法,它通过向空气中注入离子来中和静电电荷,从而减少静电电荷的积累和放电。电离器是实现电离的关键设备,它能够产生大量的正、负离子,从而中和空气中的静电电荷。电离器的性能对于电子、微电子和半导体制造等领域的产品质量至关重要,因此需要对电离器进行测试,以确保其性能符合要求。
IEC 61340-4-7:2017规定了电离器的测试方法,包括电离器的性能测试、电离器的稳定性测试、电离器的均匀性测试等。其中,电离器的性能测试是指对电离器的电离效率、电离器的电荷中和能力、电离器的电荷中和时间等进行测试。电离器的稳定性测试是指对电离器的稳定性进行测试,包括电离器的温度稳定性、电离器的湿度稳定性、电离器的电源稳定性等。电离器的均匀性测试是指对电离器的离子分布均匀性进行测试,包括电离器的离子分布均匀性、电离器的离子流密度均匀性等。
IEC 61340-4-7:2017标准的实施可以有效地保证电离器的性能符合要求,从而保证电子、微电子和半导体制造等领域的产品质量。该标准的实施还可以促进电离器的技术进步和应用推广,为电子、微电子和半导体制造等领域的发展提供有力支持。
相关标准
- IEC 61340-4-1:2018 电静电 - 第4-1部分:一般原则
- IEC 61340-4-2:2018 电静电 - 第4-2部分:测试方法 - 表面电阻和电阻率
- IEC 61340-4-3:2018 电静电 - 第4-3部分:测试方法 - 表面电荷密度
- IEC 61340-4-4:2018 电静电 - 第4-4部分:测试方法 - 电荷放电
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