IEC 62047-27:2017
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 27: Bond strength test for glass frit bonded structures using micro-chevron-tests (MCT)
发布时间:2017-01-20 实施时间:


半导体器件-微电子机械器件是一种新型的微型机械器件,具有体积小、重量轻、功耗低等优点,广泛应用于汽车、医疗、航空航天等领域。在微电子机械器件中,玻璃熔合结构是一种常见的键合方式,其键合强度对器件的性能和可靠性有着重要的影响。因此,对玻璃熔合结构的键合强度进行测试是非常必要的。

IEC 62047-27:2017标准采用微型V形切口测试(MCT)方法,通过对样品进行拉伸测试,评估玻璃熔合结构的键合强度。MCT方法是一种非常有效的测试方法,可以在微米级别下进行测试,具有高精度、高可重复性等优点。该方法通过在样品表面制作微型V形切口,然后在切口处施加拉伸力,从而评估样品的键合强度。MCT方法可以对不同类型的玻璃熔合结构进行测试,如玻璃-金属键合、玻璃-玻璃键合等。

在进行MCT测试时,需要注意以下几点:

1. 样品的制备:样品的制备对测试结果有着重要的影响。样品的制备应该符合标准要求,并且需要进行充分的清洗和处理,以保证测试结果的准确性。

2. 切口的制作:切口的制作需要使用高精度的切割工具,以保证切口的精度和一致性。切口的深度和宽度应该符合标准要求,并且需要进行充分的清洗和处理,以避免对测试结果的影响。

3. 测试条件的控制:测试条件的控制对测试结果有着重要的影响。测试时需要控制好拉伸速度、温度、湿度等条件,以保证测试结果的准确性和可重复性。

IEC 62047-27:2017标准的发布,对于推动微电子机械器件的发展和应用具有重要的意义。该标准为微电子机械器件的设计、制造和测试提供了重要的参考依据,有助于提高微电子机械器件的性能和可靠性。

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