MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）是一种微型机电系统，由微型机械结构和微电子器件组成。MEMS技术在传感器、执行器、生物医学、光学等领域得到广泛应用。其中，压电薄膜是MEMS中的一种重要材料，具有压电效应和机械振动效应，可用于制作压电传感器、压电执行器、压电振荡器等。

IEC 62047-30:2017标准规定了MEMS压电薄膜电机械转换特性的测量方法。该标准适用于压电薄膜的电机械转换特性的测量，包括压电薄膜的电容、电阻、电感、压电系数、机械振动等特性的测量。该标准主要包括以下内容：

1. 测量设备和测量方法的选择：根据被测量的特性选择合适的测量设备和测量方法，如电容计、电阻计、示波器、信号发生器等。

2. 样品的制备和处理：根据被测量的特性选择合适的样品制备和处理方法，如薄膜的制备、切割、清洗等。

3. 测量条件的确定：根据被测量的特性选择合适的测量条件，如温度、湿度、电压、频率等。

4. 测量结果的处理和分析：根据被测量的特性对测量结果进行处理和分析，如计算电容、电阻、电感、压电系数等。

该标准的实施可以保证MEMS压电薄膜电机械转换特性的准确测量，为MEMS的研究和应用提供技术支持。

相关标准
- IEC 62047-1:2015 半导体器件-微电子机械系统-第1部分：通用标准
- IEC 62047-15:2015 半导体器件-微电子机械系统-第15部分：MEMS压电传感器的测量方法
- IEC 62047-16:2015 半导体器件-微电子机械系统-第16部分：MEMS压电执行器的测量方法
- IEC 62047-17:2015 半导体器件-微电子机械系统-第17部分：MEMS压电振荡器的测量方法
- IEC 62047-18:2015 半导体器件-微电子机械系统-第18部分：MEMS加速度计的测量方法