随着集成电路技术的不断发展,三维集成电路已经成为了一种重要的技术路线。三维集成电路通过将多个芯片堆叠在一起,可以大大提高集成度和性能。而通过硅通孔则是实现三维集成电路的关键技术之一。通过硅通孔可以将不同芯片之间的信号传输通道直接穿过硅基底,从而实现芯片之间的高速、低延迟通信。
然而,通过硅通孔也带来了一些新的问题。由于通过硅通孔需要在硅基底中打孔,因此会对硅基底的物理和电学性质产生影响。同时,通过硅通孔的制造和测试也需要特殊的技术和设备。为了确保三维集成电路的可靠性和稳定性,需要对通过硅通孔的模型和测量条件进行规范。
IEC 63011-3:2018就是一项关于通过硅通孔的模型和测量条件的标准。该标准规定了通过硅通孔的模型和测量条件,以确保三维集成电路的可靠性和稳定性。该标准适用于通过硅通孔连接芯片和芯片堆叠的三维集成电路。
具体来说,IEC 63011-3:2018规定了通过硅通孔的电学模型和物理模型。通过硅通孔的电学模型包括了电阻、电感和电容等参数,可以用于分析通过硅通孔的信号传输特性。通过硅通孔的物理模型则包括了硅基底的几何形状、材料参数和制造工艺等因素,可以用于分析通过硅通孔对硅基底的影响。
此外,IEC 63011-3:2018还规定了通过硅通孔的测量条件。这些测量条件包括了测试设备、测试方法和测试参数等方面的规定。通过这些测量条件,可以对通过硅通孔的电学和物理特性进行准确的测试和分析。
总之,IEC 63011-3:2018是一项非常重要的标准,它为三维集成电路中通过硅通孔的模型和测量条件提供了规范。通过遵守该标准,可以确保三维集成电路的可靠性和稳定性,促进三维集成电路技术的发展。
相关标准
- IEC 63011-1:2017 集成电路-三维集成电路-第1部分:术语和定义
- IEC 63011-2:2017 集成电路-三维集成电路-第2部分:制造和测试
- IEC 62258:2014 集成电路-三维集成电路-测试方法
- IEC 62430:2019 环保设计评估(Eco-design)-材料声明
- IEC 62623:2012 集成电路-三维集成电路-可靠性