微机电系统（MEMS）是一种集成了微型机械、电子和计算机技术的系统，具有体积小、重量轻、功耗低、响应速度快等优点。微机电器件是MEMS系统的核心部件，包括传感器、执行器和微加工器件等。微机电技术已经广泛应用于汽车、医疗、通信、航空航天等领域。

IEC 60050-523:2018标准对微机电器件进行了分类，包括传感器、执行器、微加工器件等。其中，传感器是指将物理量转换为电信号的器件，如加速度传感器、压力传感器、温度传感器等；执行器是指将电信号转换为物理运动的器件，如微型电机、微型阀门、微型泵等；微加工器件是指用于制造微机电器件的加工工具，如激光加工器、电子束加工器等。

此外，IEC 60050-523:2018标准还规定了微机电器件的性能指标，包括灵敏度、分辨率、响应时间、稳定性等。这些指标是评价微机电器件性能的重要参数，也是制定微机电器件标准的基础。

IEC 60050-523:2018标准还介绍了微机电器件的制造工艺，包括光刻、薄膜沉积、离子刻蚀等。这些工艺是制造微机电器件的关键技术，也是保证微机电器件质量的重要保障。

相关标准
- IEC 62228:2002 Micro-electromechanical systems (MEMS) - Package and interface standards
- IEC 62282-6-200:2011 Fuel cell technologies - Part 6-200: Micro fuel cell power systems - Safety
- IEC 62627-01:2013 Micro-electromechanical systems (MEMS) - Part 01: General principles for MEMS in space applications
- IEC 62830-1:2016 Surface cleaning appliances - Part 1: Dry vacuum cleaners for household or similar use - Methods for measuring the performance
- IEC 63068-1:2019 Micro-electromechanical systems (MEMS) - Part 1: Glossary of terms