MEMS谐振器是一种微型机械系统器件，具有高精度、高灵敏度和低功耗等优点，广泛应用于无线通信、惯性导航、生物传感等领域。MEMS谐振器的性能和可靠性是其应用的关键因素之一，而非线性振动是影响MEMS谐振器性能和可靠性的重要因素之一。因此，对MEMS谐振器的非线性振动进行测试是非常必要的。

IEC 62047-32:2019标准规定了用于测试MEMS谐振器非线性振动的方法。该标准主要包括以下内容：

1.测试设备和测试方法：该标准规定了测试设备和测试方法，包括测试系统、测试仪器和测试程序等。

2.测试参数：该标准规定了测试参数，包括谐振频率、谐振幅度、谐振质量和谐振阻尼等参数的测量方法。

3.测试过程：该标准规定了测试过程，包括测试前的准备工作、测试过程中的注意事项和测试后的数据处理等。

4.测试结果的分析和评估：该标准规定了测试结果的分析和评估方法，包括数据处理、结果分析和评估等。

通过使用IEC 62047-32:2019标准规定的测试方法，可以对MEMS谐振器的非线性振动进行准确、可靠的测试，从而确保其性能和可靠性。

相关标准
- IEC 62047-11:2018 半导体器件-微电子机械系统器件-第11部分：MEMS加速度计测试方法
- IEC 62047-12:2018 半导体器件-微电子机械系统器件-第12部分：MEMS陀螺仪测试方法
- IEC 62047-13:2018 半导体器件-微电子机械系统器件-第13部分：MEMS压力传感器测试方法
- IEC 62047-14:2018 半导体器件-微电子机械系统器件-第14部分：MEMS流量传感器测试方法
- IEC 62047-15:2018 半导体器件-微电子机械系统器件-第15部分：MEMS温度传感器测试方法