MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）是一种微型机电系统，由微型机械结构和电子器件组成。MEMS器件具有体积小、重量轻、功耗低、响应速度快等优点，广泛应用于汽车、医疗、航空航天等领域。MEMS压阻式压力敏感器件是一种常见的MEMS器件，用于测量气体或液体的压力。

IEC 62047-33:2019规定了MEMS压阻式压力敏感器件的性能要求。其中，最重要的性能指标是灵敏度和线性度。灵敏度是指传感器输出信号随压力变化的变化量，通常用mV/kPa或mV/bar表示。线性度是指传感器输出信号与压力之间的线性关系，通常用百分比误差表示。此外，该标准还规定了MEMS压阻式压力敏感器件的温度特性、稳定性、重复性等性能要求。

IEC 62047-33:2019还规定了MEMS压阻式压力敏感器件的测试方法。其中，最重要的测试方法是压力校准和温度校准。压力校准是指在已知压力下测量传感器输出信号，以确定传感器的灵敏度和线性度。温度校准是指在不同温度下测量传感器输出信号，以确定传感器的温度特性。此外，该标准还规定了MEMS压阻式压力敏感器件的电气测试、机械测试等测试方法。

IEC 62047-33:2019还规定了MEMS压阻式压力敏感器件的封装和标记要求。封装是指将MEMS压阻式压力敏感器件封装在芯片或模块中，以保护其免受环境影响。标记是指在MEMS压阻式压力敏感器件上标注型号、批次、生产厂家等信息，以便于追溯和管理。

相关标准
- IEC 60747-14-1:2018 半导体器件-微电子机械系统器件-第14-1部分：MEMS加速度计
- IEC 60747-14-2:2018 半导体器件-微电子机械系统器件-第14-2部分：MEMS陀螺仪
- IEC 60747-14-3:2018 半导体器件-微电子机械系统器件-第14-3部分：MEMS压力传感器
- IEC 60747-14-4:2018 半导体器件-微电子机械系统器件-第14-4部分：MEMS流量传感器
- IEC 60747-14-5:2018 半导体器件-微电子机械系统器件-第14-5部分：MEMS声学传感器