MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）是一种微型机电系统，由微型机械结构和电子器件组成。MEMS技术已经广泛应用于传感器、执行器、生物医学、光学和通信等领域。MEMS压电薄膜是MEMS器件中的一种重要材料，具有压电效应和机械性能，可用于制造压电传感器、压电执行器和压电振荡器等器件。

MEMS压电薄膜在使用过程中需要承受各种环境和介质的影响，如温度、湿度、气体、液体和电场等。这些因素可能会对MEMS压电薄膜的性能和可靠性产生影响，因此需要进行环境和介电耐压测试来评估其性能和可靠性。

IEC 62047-36:2019标准规定了MEMS压电薄膜的环境和介电耐压测试方法。该标准包括环境试验和介电强度试验两部分。

环境试验包括以下测试项目：

1. 温度循环试验：将样品置于高温和低温环境中交替进行，以评估其在温度变化下的稳定性和可靠性。

2. 恒温湿热试验：将样品置于高温高湿环境中进行，以评估其在湿热环境下的稳定性和可靠性。

3. 盐雾试验：将样品置于盐雾环境中进行，以评估其在腐蚀环境下的稳定性和可靠性。

介电强度试验包括以下测试项目：

1. 直流介电强度试验：将样品置于高电场强度下进行，以评估其在电场作用下的稳定性和可靠性。

2. 交流介电强度试验：将样品置于高电场强度下进行交流电场作用，以评估其在交流电场作用下的稳定性和可靠性。

以上测试项目的具体测试方法和参数在标准中有详细规定。

通过进行环境和介电耐压测试，可以评估MEMS压电薄膜在使用过程中的可靠性和稳定性，为其应用提供可靠的保障。

相关标准
- IEC 62047-31:2018 半导体器件-微电子机械系统器件-第31部分：MEMS加速度计的环境和介电耐压测试方法
- IEC 62047-32:2018 半导体器件-微电子机械系统器件-第32部分：MEMS陀螺仪的环境和介电耐压测试方法
- IEC 62047-33:2018 半导体器件-微电子机械系统器件-第33部分：MEMS压力传感器的环境和介电耐压测试方法
- IEC 62047-34:2018 半导体器件-微电子机械系统器件-第34部分：MEMS流量传感器的环境和介电耐压测试方法
- IEC 62047-35:2018 半导体器件-微电子机械系统器件-第35部分：MEMS振荡器的环境和介电耐压测试方法